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계측

ASET-F5x Pro

박막 계측 시스템

ASET-F5x Pro 박막 계측 시스템은 광범위한 박막 적층 및 기하구조에 걸쳐 박막 두께, 굴절률 및 휨/응력 기능에 대한 신뢰할 수 있고 가성비 있는 고정밀 박막 측정을 제공합니다. 본 시스템은 절대적인 정확도, 재현성 및 시스템 간 일치를 제공하는 기능을 갖추고 있으며 이는 IoT, 자동차 및 모바일 시장용 소자를 제조하는 반도체 공장에 필요합니다. ASET-F5x Pro는 단일 시스템에 정밀한 광학 분광 타원 측정 및 반사 측정 측정 기술을 통합하여 µLED, MEM 및 IC 제조업체가 요구하는 모든 범위의 박막 측정 당면 과제를 처리합니다.

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애플리케이션

사진식각, 증착, CMP 및 에칭을 위한 제품 박막 두께 및 화학량론 제어, 인라인 설비 및 공정 모니터링, 공정 설비 일치

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Archer™

오버레이 계측 시스템

Archer™ 이미징 기반 오버레이 계측 시스템은 다양한 웨이퍼 유형, 크기, 재료 및 두께에 대한 견고하고 정확하며 신뢰할 수 있고 재현 가능한 오버레이 등록 및 CD 측정을 제공합니다. 업계에서 증명된 Archer 플랫폼은 빠르고 반복 가능하며 시스템 간 일치 성능을 제공하며 이는 IoT, 자동차, µLED 및 모바일 부문용 제품을 생산하는 반도체 공장에서 요구되어 집니다.

관련제품

특징	Archer 200	Archer 300
300mm 웨이퍼	예	예
200mm 웨이퍼	예	예
150mm 웨이퍼	아니요	아니요
AIM^® 24×24	예	예
AIM^® 15×15	예	예
µAIM^™ 10×10	예	예
AIMid 5×5	아니요	예
5D Analyzer^®	예	예
Brochure	다운로드	다운로드

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KLA는 Archer™ 오버레이 시스템, ATL™ 오버레이 시스템, SpectraFilm™ 및 Aleris^® 필름 계측 시스템 등을 더욱 보강하는 등 첨단 칩 제조를 위한 광범위한 포트폴리오의 계측 시스템을 보유하고 있습니다.

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웨이퍼 제조

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