인증 & 재생산
결함 검사
Surfscan® Series
비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템
Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 반도체 소자의 성능과 신뢰성에 영향을 주는 결함과 표면 품질 문제를 식별합니다. 파묻힌 결함 및 표면 결함을 신속하게 분리하고 설비, 공정 및 재료를 검증하고 모니터링하여 IC, OEM, 재료 및 웨이퍼 제조를 지원합니다.
애플리케이션
공정 검증 설비 검증, 설비 모니터링, 출하 웨이퍼 품질 관리, 입고 웨이퍼 품질 관리, 감광재 및 스캐너 검증, 공정 문제 찾기.
관련제품
Surfscan SP2XP:
≥ 45nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.
브로셔 다운로드Surfscan SP2:
기술 ≥ 65nm 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.
브로셔 다운로드Surfscan SP1DLS Pro:
90nm 이상의 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.
브로셔 다운로드Surfscan SP1TBI Pro:
≥ 130nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.
브로셔 다운로드KLA는 Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템 및 광대역 플라즈마 광학 패턴 웨이퍼 검사기를 더욱 보강하는 등 첨단 칩 제조를 위한 광범위한 포트폴리오의 결함 검사 및 검토 시스템을 보유하고 있습니다.
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