认证与翻新

量测

ASET-F5x Pro

薄膜量测系统

ASET-F5x Pro薄膜量测系统提供经济可靠且高精度的薄膜测量，可针对各种薄膜堆叠和几何形状的薄膜测量其厚度、折射率和翘曲度/应力等。该系统的功能特点可为物联网、汽车和移动设备的晶圆厂所需的绝对精度、再现性和系统与系统间的匹配提供配套解决方案。 ASET-F5x Pro在单个系统中集成了精确的光学光谱椭偏仪和反射仪量测技术，以应对µLED、MEMS和IC制造商所需的全方位薄膜测量的挑战。

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主要应用

产品上的薄膜厚度和化学计量控制，光刻、沉积、CMP和蚀刻的在线设备及工艺监控，工艺设备匹配

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Archer™

套刻量测系统

Archer™是以成像为基础的套刻量测系统，可针对各种晶圆类型、尺寸、材料和厚度进行稳健、准确、可靠且可重复的套刻配准和CD测量。Archer平台久经行业考验，其高速、可重复性和系统间匹配等性能能够满足物联网、汽车、μLED和移动领域产品的半导体制造厂商的需求

主要应用

产品套刻控制、在线监控、光刻机认证、图案控制

相关产品

Feature	Archer 200	Archer 300
300mm 晶圆	是	是
200mm 晶圆	是	是
150mm 晶圆	否	否
AIM^® 24×24	是	是
AIM^® 15×15	是	是
µAIM^™ 10×10	是	是
AIMid 5×5	否	是
5D Analyzer^®	是	是
产品手册	点击这里	点击这里

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KLA拥有一套适用于先进芯片制造的综合性度量系统，包括附加的 Archer™ 套刻系统、ATL™ 套刻系统，以及 SpectraFilm™ 和 Aleris^® 薄膜度量系统。

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