认证与翻新
缺陷检测
Surfscan® Series
无图案晶圆检测系统
Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持IC、OEM、材料和晶圆制造。
KLA拥有一套适用于先进芯片制造的综合性缺陷检测和复检系统，包括附加的 Surfscan® 无图案晶圆检测系统和宽频电浆光学带图案晶圆检测仪。
认证和再制造
认证与翻新
Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持IC、OEM、材料和晶圆制造。
KLA拥有一套适用于先进芯片制造的综合性缺陷检测和复检系统，包括附加的 Surfscan® 无图案晶圆检测系统和宽频电浆光学带图案晶圆检测仪。
认证和再制造
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