微电子显示涂层的纳米划痕测试与划痕3D轮廓测量
纳米压痕是一种通用力学测试手段,可用于评估涂层的基本力学性能、耐划伤性能及其与基体的粘附强度。本次研讨会中,我们将首先演示如何使用KLA纳米压痕仪对微电子显示涂层进行划痕测试,并讨论划痕测试的重要参数,包括最佳的压头几何形状。我们还将对测试结果与数据进行解读。之后,我们将演示对划痕进行3D轮廓测量,以更好地理解微电子显示涂层的划痕行为。
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