纳米划痕测试与3D轮廓测量；理论部分
纳米压痕是一种通用测试手段，主要用于测量材料的基本力学性能，如杨氏模量和硬度。KLA纳米压痕仪坚固耐用，且配备高精度的纳米定位台，使其能够对各种薄膜涂层进行纳米划痕测试，从而更好地理解涂层的失效现象以及其与基体的粘附强度。本次研讨会将介绍使用纳米压痕仪进行划痕测试的基本原理，以及测定临界载荷（在涂层内或界面处产生失效）的指标。我们还将介绍在纳米划痕后使用3D轮廓测量对其进行表征，这将是检测涂层塑性与断裂的有力工具。
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