台阶高度、粗糙度、平面度、曲率、应力、薄膜厚度、缺陷检测等等…
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轮廓仪产品系列
探针式与光学轮廓仪
KLA提供一系列探针式和光学轮廓仪，支持半导体IC、功率器件、LED、光子技术、MEMS、CPV太阳能、HDD和显示器制造的表面量测测量。 请访问我们的 轮廓仪网页了解更多相关信息。
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