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电容式传感器

KLA 的电容式传感器产品组合可检测和测量接近度、定位、距离、位移、跳动、自动对焦、归零、振动和厚度。我们的非接触式、低噪声、高性能传感器被广大 OEM（半导体设备、自动显微镜、汽车零部件、光伏）和生产最终用户（数据存储、汽车传动系统组件）用于一系列应用，其中包括直接测量高精度机床和工作台的直线度和平面度，并被用作焦平面控制方面的位置传感器。我们的电容式传感器还服务于一系列工业测试和测量以及研发用例。

MicroSense® Capacitive Sensors

非接触式位置测量

MicroSense® Capacitive Sensors利用创新技术来实现高性能测量功能。MicroSense Capacitive Sensors的分辨率可低至皮米级，并可提供所有市售电容式传感器中最低的噪声性能。有多款特定于应用的电容式位置传感器可供选择，每种传感器均已针对高稳定性和线性度或是为实现快速响应的最高测量带宽进行优化。

所有 MicroSense Capacitive Sensors均具备以下功能：

  • 使用精确的电气传感技术进行完全非接触式电容位置测量
  • 对任意表面光洁度或材料不影响精度的导电、接地目标进行检测
  • 10μm 至 4mm 的较短测量距离，具体取决于传感器尺寸

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