产品类别
8 Series
高效率图案晶圆宽带检测系统
8 Series图案晶圆检测系统以卓越的产出率侦测各类缺陷,快速识别与解决生产过程中的问题。8 Series提供具成本效益的缺陷监测,针对芯片制造使用的150毫米、200毫米或300毫米的矽、SiC、GaN、玻璃与其他基板,从产品初期开发到量产阶段皆适用。最新一代的8935检测仪采用全新光学技术以及DesignWise®和 FlexPoint™ 精确定位技术ˋ,捕捉任何可能导致芯片故障的关键缺陷。DefectWise® AI技术快速进行线上分离,从而改善缺陷检测与分级效能。透过这些创新技术,8935检测仪高效捕捉与产量和可靠性相关的缺陷,同时保持低误报率,帮助芯片制造商以更低的成本交出可靠的产品。8 Series检测仪支援针对制造过程中各种领先与传统节点进行缺陷检测,包括逻辑、储存、功率、LED、光子、射频与微机电(MEMS) 器件。8 Series更确保制造过程中现实/虚拟以及硬盘驱动器(HDD) 的质量控制。8 Series 型号可现场升级,提供了一种高性价比的方式来提高检测性能。
制程监控、工具监控、出厂品质控制(OQC)
CIRCL
CIRCL缺陷检测、计量与复检集群的8 Series也可作为模块,用以测量前后表面以及边缘的全面晶圆测量
I-PAT®
是自动化的在线芯片筛选方案,可以与8 Series检测仪整合,帮助芯片制造商实现零缺陷筛选策略。8 Series在关键制程步骤中监测所有晶圆上100%的晶片,I-PAT则利用这些数据移除供应链中可能出现故障的芯片。 点击此处 了解更多。
CAPRES CIPTech®
电学/磁学性能量测
CAPRES A301 CIPTech®和CAPRESM300 CIPTech®计量系统可直接测量与MRAM、STTRAM、磁记录头和磁传感器应用相关的铺盖式磁隧道结构(MTJ)层中的关键性磁电阻和隧道电阻(MR和RA)。获得IBM许可的Current In-Plane Tunneling 技术 (CIPTech®)具有前所未有的测量速度,并相比先前的技术在成本和时间上带来了巨大的节省。当与CAPRES专有的纳米MEMS探针技术结合使用时,完全自动化的CAPRES A301 CIPTech系统和半自动/手动的CAPRES M300 CIPTech系统可以快速而有效地对300mm全片或样品券上的MTJ性质进行非破坏性测量。MTJ表面通过一种新型的多点接触探针进行探测,该探针具有十二个微观悬臂电极,并使用CIPTech技术从CAPRES多点测量中直接提取MR和RA。
直接测量磁阻式随机存取内存(MRAM)、磁记录头和传感器产品开发、工艺控制和工艺设备匹配的电学特性。
CAPRES M201 CIPTech®
是一款具有200毫米的X-Y台和200毫米夹持器的半自动的电学特性测试设备,可对产品型号的MRAM MTJ层进行microRSP和完全自动化的CIPTech电学特性测试。
CAPRES A301 CIPTech® ROW
是一款具有300毫米的X-Y台和300毫米夹持器的全自动的电学特性测试设备,可对产品型号的MRAM MTJ层进行microRSP、完全自动化和直接的电学特性测试。该系统包含一个垂直(600mT)的磁体系统。
CAPRES A201 CIPTech® Horizontal
是一款全自动具有200毫米X-Y台、200毫米夹持器 ,可实现对产品型号的 MRAM MTJ 层进行microRSP 和完全自动化的 CIPTech 电学特性测试。该系统包含一个水平方向(150mT)的磁场系统。
MicroSense® KerrMapper
纵向磁光 Kerr 效应系统
MicroSense® KerrMapper系列工具利用纵向磁光克尔效应(MOKE)来表征磁性多层晶片(用于数据存储、MRAM和其他磁传感器)的磁性特性。利用非接触式全晶片测量技术,MicroSense® KerrMapper S300和V300系统可以创建整个晶片磁性特性的映射图。这两种系统都可以手动加载或全自动配置,用于研发和/或生产。使用MicroSense磁测量工具的专有直接场控制技术,MicroSense® KerrMapper系统提供高场能力和低场分辨率,可在单个系统中表征自由层和固定层性能。
磁性薄膜性质的工艺开发、表征和优化。多层软磁和硬磁薄膜的表征
MicroSense® DiskMapper
HAMR/ TAR 介質之非破壞、非接、雙面映射
MicroSense® DiskMapper H8系统快速测定热辅助系统(HAMR) 亦称热辅助纪录(TAR) 磁碟之垂直纪录层均匀性,该层在沉积后立即进行测定,此为碟片驱动器产量的重要因素。利用自定义的 8 Tesla双极高速超导磁铁,可在不到3分钟内测量任何碟片位置之滞回线。使用全套卡片晶舟盒与双面测量能力,MicroSense® DiskMapper H8系统可同时作为研发与生产工具。
HAMR/TAR 介质磁性能的工艺开发、表征和优化
MicroSense® Polar Kerr
用于垂直纪录(PMR) 介质的非接触式磁性量测系统
MicroSense® Polar Kerr测量系统用于表征垂直纪录(PMR) 层在制造磁盘驱动介质时的磁性能,得以在薄膜沉积后立即提供快速的工艺反馈。该系统凭借全盘、非破坏性、非接触式测量技术和自动化处理,成为 PMR 开发和生产监控的强大工具。MicroSense Polar Kerr系统快速准确测量对 PMR 介质性能至关重要的磁性参数,提高了对复杂薄膜沉积过程的控制能力,并提升了产品良率。
PMR 介质磁膜特性的工艺开发、表征和优化
Candela® 7100 Series
硬碟驱动器介质和基板缺险检测与分类系统
Candela® 7100 Series先进的媒体和基板缺陷检测与分类系统适用于硬碟制造,有助将产量提升至极限,同时降低硬碟检验成本。双光路配置针对关键的亚微米级缺陷进行特殊缺陷特征分类,例如微小凹痕、凸块、颗粒以及埋藏缺陷。Candela 7110 配置支援手动载入基本进行检验,而Candela7140则提供全自动卡匣至卡匣基本载入功能。
高灵敏度(HS) 选项提供了对裸玻璃和金属基板检验更强化的灵敏度与捕捉速度。
硬盘驱动器制程与工具监控
Candela® 6300 Series
硬盘驱动器介质和基板形貌与缺陷检测系统
Candela® 6300双雷射检测系统针对硬碟驱动基板与成品介质表面进行检测。其独特的多通道光学设计可测量光滑金属与玻璃基板上之粗糙度与波纹度。利用相同平台,可自动检测与分类颗粒、刮痕等缺陷。Candela6310为一款适用于实验室与低产量生产之手动系统,而Candela6340则适用于生产环境的全自动卡匣至卡匣系统。
硬盘驱动器制程与工具监控
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