使用 Candela 提升碳化硅功率器件的良率和可靠性
Candela® 8520是KLA Instrument事业部推出的针对功率半导体应用的最新缺陷检测系统。Candela® 8520是继Candela® CS920系统之后的新一代产品。本网络研讨会将介绍集成表面探测和光致发光技术于一体的Candela® 8520如何帮助SiC制造商降低良率损失，改善MOCVD工艺控制，助力功率半导体市场发展。
Candela® 8520是KLA Instrument事业部推出的针对功率半导体应用的最新缺陷检测系统。Candela® 8520是继Candela® CS920系统之后的新一代产品。本网络研讨会将介绍集成表面探测和光致发光技术于一体的Candela® 8520如何帮助SiC制造商降低良率损失，改善MOCVD工艺控制，助力功率半导体市场发展。
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