40년 동안 당사의 광대역 플라즈마(BBP) 패턴 웨이퍼 검사기는 광학 검사의 한계를 넘어 반도체 칩 제조 과정에서 중요한 결함을 발견했습니다. 1984년에 도입된 KLA 2020은 인간 작업자의 수동 검사를 대체하는 반도체 칩 생산을 위한 최초의 자동 패턴 웨이퍼 검사 시스템입니다. 반도체공장 공정에 대해 빠르고 정확한 피드백을 제공함으로써 당사의 BBP 시스템은 결함 검사를 인라인으로 옮겼으며, 반도체 제조업체의 수율 관리 전략에 없어서는 안 될 부분이 되었습니다.

KLA 임원인 릭 월리스, 벤 차이, 아마드 칸은 BBP 시스템이 반도체 산업의 검사 환경을 어떻게 변화시켰는지 설명하고 제품군을 정의하는 혁신이 어떻게 계속되어 BBP 광학 검사의 밝은 미래를 보장하는지 이야기합니다.